Epoxy EP112 المستخدمة في تصنيع الإلكترونيات الدقيقة
يتم تقديم هذا المقال برعاية لك من قبل ماستر بوند.
Master Bond EP112 عبارة عن نظام إيبوكسي مكون من مكونين من مكونين قابل للرضا عن مكونات مصمم للتطبيقات الصعبة التي تتطلب وضوحًا بصريًا ومقاومة للمواد الكيميائية المستخدمة بشكل شائع في معالجة السيليكون. تقدم هذه المقالة دراسة حالة من جزأين تتضمن تصنيع إلكترونيات صغيرة ، تعرض دور EP112 في ربط رقاقة السيليكون إلى الركيزة الزجاجية.
الجزء 1: عملية البدء ودور EP112
في الجزء الأول من دراسة الحالة هذه ، طور الباحثون في Lawrence Livermore National Laboratory (LLNL) عملية مبتكرة على السيليكون على عزل (SOI) تسمى START (نقل السيليكون إلى الركيزة التعسفية). تتيح هذه الطريقة تحويل رقائق السيليكون السائبة القياسية مع الدوائر المكتملة إلى تكوينات تشبه SOI دون زيادة كبيرة في تكاليف التصنيع. باستخدام تقنيات التصنيع التقليدية ، تجمع عملية البدء بين فوائد إلكترونيات السيليكون السائبة مع تلك الخاصة بتكنولوجيا SOI مع الحفاظ على كفاءة التكلفة.
تتضمن خطوة حاسمة في هذه العملية ربط رقاقة السيليكون لركيزة دعم الزجاج. تم اختيار EP112 باعتباره مادة لاصقة للاختيار بسبب لزوجتها المنخفضة للغاية ، وقدرات الترابط القوية ، والمقاومة الكيميائية العالية. ساهم الهيكل المستعبدين في النهاية في التطور الناجح لعرض الكريستال السائل النموذجي (LCD) ، مما يدل على فعالية EP112 في تصنيع الإلكترونيات الدقيقة.
الجزء 2: تخفيف رقاقة CMOS لمقاومة SEU
في الجزء الثاني من هذه الدراسة ، قام الباحثون في LLNL بتطبيق EP112 في عملية جديدة لتصوير الرقاقة لتعزيز موثوقية الدوائر المتكاملة القائمة على CMOS (ICS). كان الهدف هو تقليل التعرض للاضطرابات المفردة (SEUS) عن طريق تقليل حجم جمع الشحنة بشكل كبير داخل ركيزة السيليكون.
ولتحقيق ذلك ، تم استخدام EP112 لربط ركائزان معًا ، مما يضمن وجود ارتباط آمن خلال خطوات النخاع. تضمنت العملية خطوة حفر قلوية عالية درجة الحرارة ، حيث لعبت المقاومة الكيميائية المتفوقة من EP112 دورًا حاسمًا في منع التخلص من الترابط. من خلال الحفاظ على النزاهة الهيكلية في ظل هذه الظروف القاسية ، مكّن EP112 من الانتهاء بنجاح من عملية التخفيف ، مما يدل على مدى ملاءمتها لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة.
لقراءة المزيد حول المعلمات والمتطلبات الرئيسية ، والتعرف على النتائج ، يرجى تنزيل دراسة الحالة الكاملة هنا.
